Импульсный отжиг полупроводниковых материалов

Карточка

Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов; [Отв. ред. А. В. Ржанов]. - М. : Наука, 1982. - 208 с. : ил.; 21 см.
В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Полупроводники - Легирование ионное
FB Б 82-37/91
FB Б 82-37/92

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеИмпульсный отжиг полупроводниковых материалов
Дата поступления в ЭК 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиА. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов; [Отв. ред. А. В. Ржанов]
Выходные данныеМ. : Наука, 1982
Физическое описание208 с. : ил.; 21 см
ПримечаниеВ надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
ТемаПолупроводники - Легирование ионное
ЯзыкРусский
Места храненияFB Б 82-37/91
FB Б 82-37/92