Байкальцев, Борис Петрович - Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие]

Экспресс-заказ фрагмента
Байкальцев, Борис Петрович.
Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие] / Б. П. Байкальцев. - Москва : МИЭМ, 1981 (вып. дан. 1982). - 86 с. : ил.; 20 см.

В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва
Электронная промышленность, предприятия - Оборудование
Шифр хранения:
FB В 82-66/396
FB В 82-66/397

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие]
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЕЭК 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиБ. П. Байкальцев
Выходные данныеМосква : МИЭМ, 1981 (вып. дан. 1982)
Физическое описание86 с. : ил.; 20 см
ПримечаниеВ надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва
ТемаЭлектронная промышленность, предприятия - Оборудование
ЯзыкРусский
Места храненияFB В 82-66/396
FB В 82-66/397