Байкальцев, Борис Петрович - Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие]

Карточка

Байкальцев, Борис Петрович.

Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие] / Б. П. Байкальцев. - М. : МИЭМ, 1981 (вып. дан. 1982). - 86 с. : ил.; 20 см.
В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва
Электронная промышленность, предприятия - Оборудование
FB B 82-66/396
FB B 82-66/397

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизические основы проектирования оборудования электронной промышленности : Терм. оборуд. [Учеб. пособие]
Дата поступления в ЭК 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиБ. П. Байкальцев
Выходные данныеМ. : МИЭМ, 1981 (вып. дан. 1982)
Физическое описание86 с. : ил.; 20 см
ПримечаниеВ надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва
ТемаЭлектронная промышленность, предприятия - Оборудование
ЯзыкРусский
Места храненияFB B 82-66/396
FB B 82-66/397