Березин, Геннадий Николаевич - Оптические основы контактной фотолитографии

Карточка

Березин, Геннадий Николаевич.

Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. - М. : Радио и связь, 1982. - 103 с. : ил.; 20 см. - (Массовая б-ка инженера. Электроника. Вып. 33; ;).
(Массовая б-ка инженера. Электроника. Вып. 33; ;)
Фотолитография
FB Б 76-36/149
FB Б 76-36/147

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОптические основы контактной фотолитографии
Дата поступления в ЭК 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиГ. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
Выходные данныеМ. : Радио и связь, 1982
Физическое описание103 с. : ил.; 20 см
Серия(Массовая б-ка инженера. Электроника. Вып. 33; ;)
ТемаФотолитография
ЯзыкРусский
Места храненияFB Б 76-36/149
FB Б 76-36/147