Шваенко, Михаил Александрович. - Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией / М. А. Шваенко. - Киев : о-во "Знание" УССР, 1982. - 19 с. : ил.; 20 см. - (В помощь лектору и специалисту. / О-во "Знание" УССР).
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Шваенко, Михаил Александрович.
Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией / М. А. Шваенко. - Киев : о-во "Знание" УССР, 1982. - 19 с. : ил.; 20 см. - (В помощь лектору и специалисту. / О-во "Знание" УССР).
Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
МДП-структуры
Шифр хранения:
Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией / М. А. Шваенко. - Киев : о-во "Знание" УССР, 1982. - 19 с. : ил.; 20 см. - (В помощь лектору и специалисту. / О-во "Знание" УССР).
Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
МДП-структуры
Шифр хранения:
FB В 83-37/1161
FB В 83-37/1162
Описание
Автор | Шваенко, Михаил Александрович |
---|---|
Заглавие | Конструктивно-технологические особенности изготовления приборов с углубленной в кремний окисной изоляцией |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог документов с 1831 по настоящее время |
Дата поступления в ЭК РГБ | 27.02.2002 |
Каталоги | Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время) |
Сведения об ответственности | М. А. Шваенко |
Выходные данные | Киев : о-во "Знание" УССР, 1982 |
Физическое описание | 19 с. : ил.; 20 см |
Серия | (В помощь лектору и специалисту. / О-во "Знание" УССР) |
Термины-указатели | Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство |
МДП-структуры | |
Язык | Русский |
Места хранения | FB В 83-37/1161 |
FB В 83-37/1162 |