Теоретическое исследование ионной имплантации в многослойных твердотельных структурах

Экспресс-заказ фрагмента
Теоретическое исследование ионной имплантации в многослойных твердотельных структурах / М. А. Рувинский, А. Б. Гольденберг, Е. И. Зубко, А. И. Остапчук. - Киев : ИТФ, 1988. - 24 с. : граф.; 20 см. - (Препр. ан УССР, Ин-т теорет. физики; ИТФ-88-14Р).

Полупроводники - Легирование ионное
МДП-структуры - Электрофизические свойства
Шифр хранения:
FB 2 88-9/1553

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеТеоретическое исследование ионной имплантации в многослойных твердотельных структурах
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиМ. А. Рувинский, А. Б. Гольденберг, Е. И. Зубко, А. И. Остапчук
Выходные данныеКиев : ИТФ, 1988
Физическое описание24 с. : граф.; 20 см
Серия(Препр. ан УССР, Ин-т теорет. физики; ИТФ-88-14Р)
Термины-указателиПолупроводники - Легирование ионное
МДП-структуры - Электрофизические свойства
ЯзыкРусский
Места храненияFB 2 88-9/1553