Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : В 10 кн.]

Экспресс-заказ фрагмента
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : В 10 кн.]. - М. : Высш. шк., 1989-. - 20 см.
Кн. 4: Механическая и химическая обработка [Текст] / [С. Н. Никифорова-Денисова]. - 1989. - 94,[1] с. : ил.; см.; ISBN 5-06-000306-X : 10 к.


Полупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
Микроэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия
Полупроводники - Обработка - (кн. 4)
Шифр хранения:
FB 13 89-3/9

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеТехнология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : В 10 кн.]
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Выходные данныеМ. : Высш. шк., 1989-
Физическое описание20 см
ТомКн. 4: Механическая и химическая обработка [Текст] / [С. Н. Никифорова-Денисова]. - 1989. - 94,[1] с. : ил.; см
ISBNISBN 5-06-000306-X : 10 к.
Термины-указателиПолупроводниковые приборы - Производство - Учебники и пособия
Микроэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия
Полупроводники - Обработка - (кн. 4)
ЯзыкРусский
Места храненияFB 13 89-3/9