Голубев, Валерий Павлович - Установки ионной имплантации : (Обзор пат. информ.)

Экспресс-заказ фрагмента
Голубев, Валерий Павлович.
Установки ионной имплантации : (Обзор пат. информ.) / В. П. Голубев, И. А. Кузьмина, С. А. Никифоров. - Москва : ЦНИИатоминформ, 1989. - 40 с. : ил.; 22 см. - (ОД-88).

Шифр хранения:
FB 2 89-53/715

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеУстановки ионной имплантации : (Обзор пат. информ.)
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиВ. П. Голубев, И. А. Кузьмина, С. А. Никифоров
Выходные данныеМосква : ЦНИИатоминформ, 1989
Физическое описание40 с. : ил.; 22 см
Серия(ОД-88)
ЯзыкРусский
Места храненияFB 2 89-53/715