Электрическая активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии

Экспресс-заказ фрагмента
Электрическая активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии / Горелик С. С., Евтодий Б. Н., Ильящук Ю. М. и др.; АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Препр. - пос. Черноголовка (Моск. обл.) : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов, 1989. - 38 с. : ил.; 21 см.

Кремний - Электрические свойства - Влияние структуры
Шифр хранения:
FB 2 89-53/829

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

ЗаглавиеЭлектрическая активность границ зерен в профилированном поликристаллическом кремнии
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК РГБ 27.02.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиГорелик С. С., Евтодий Б. Н., Ильящук Ю. М. и др.; АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов
ИзданиеПрепр.
Выходные данныепос. Черноголовка (Моск. обл.) : Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов, 1989
Физическое описание38 с. : ил.; 21 см
Термины-указателиКремний - Электрические свойства - Влияние структуры
ЯзыкРусский
Места храненияFB 2 89-53/829