Жабрев, Валентин Александрович - Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие
Карточка
Жабрев, Валентин Александрович.
Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ". - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-7629-0408-3 (в обл.)
Пособие содержит описание основных технологических процессов и методов исследования твердого тела, применяемых в современной микроэлектронной технике для производства, контроля и тестирования интегральных микросхем. Для студентов специальности 201600
Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы
контроль производства интегральных схем
метрология в производстве интегральных схем
Шифр хранения:
FB 3 02-59/546-8
Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ". - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-7629-0408-3 (в обл.)
Пособие содержит описание основных технологических процессов и методов исследования твердого тела, применяемых в современной микроэлектронной технике для производства, контроля и тестирования интегральных микросхем. Для студентов специальности 201600
Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы
контроль производства интегральных схем
метрология в производстве интегральных схем
Шифр хранения:
FB 3 02-59/546-8
Описание
Автор | Жабрев, Валентин Александрович |
---|---|
Заглавие | Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие |
Коллекции ЕЭК РГБ | Каталог документов с 1831 по настоящее время |
Дата поступления в ЭК | 28.12.2002 |
Каталоги | Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время) |
Сведения об ответственности | В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" |
Выходные данные | Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001 |
Физическое описание | 115 с. : ил., табл.; 21 см |
ISBN | ISBN 5-7629-0408-3 (в обл.) |
Примечание | Пособие содержит описание основных технологических процессов и методов исследования твердого тела, применяемых в современной микроэлектронной технике для производства, контроля и тестирования интегральных микросхем. Для студентов специальности 201600 |
Тема | Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы |
контроль производства интегральных схем | |
метрология в производстве интегральных схем | |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 3 02-59/546-8 |