Жабрев, Валентин Александрович - Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие

Жабрев, Валентин Александрович.
Основы субмикронной технологии : Учеб. пособие / В. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ". - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001. - 115 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-7629-0408-3 (в обл.)

Пособие содержит описание основных технологических процессов и методов исследования твердого тела, применяемых в современной микроэлектронной технике для производства, контроля и тестирования интегральных микросхем. Для студентов специальности 201600
Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы
контроль производства интегральных схем
метрология в производстве интегральных схем
Шифр хранения:
FB 3 02-59/546-8

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеОсновы субмикронной технологии : Учеб. пособие
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Дата поступления в ЭК 28.12.2002
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиВ. А. Жабрев, В. И. Марголин, В. А. Мошников ; М-во образования РФ. С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ"
Выходные данныеСанкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2001
Физическое описание115 с. : ил., табл.; 21 см
ISBNISBN 5-7629-0408-3 (в обл.)
ПримечаниеПособие содержит описание основных технологических процессов и методов исследования твердого тела, применяемых в современной микроэлектронной технике для производства, контроля и тестирования интегральных микросхем. Для студентов специальности 201600
ТемаРадиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Технология нанесения пленочных покрытий -- Учебник для высшей школы
контроль производства интегральных схем
метрология в производстве интегральных схем
ЯзыкРусский
Места храненияFB 3 02-59/546-8