Старостина, Елена Алексеевна - Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Старостина, Елена Алексеевна.
Старостина, Елена Алексеевна.

Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
OD 61 02-1/536-9

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 12.03.2002
Дата поступления в ЭБ 20.02.2012
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЧерноголовка, 2001
Физическое описание111 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 02-1/536-9
Электронный адрес Электронный ресурс