Старостина, Елена Алексеевна. - Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Старостина, Елена Алексеевна.
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
OD 61 02-1/536
Описание
Автор | Старостина, Елена Алексеевна |
---|---|
Заглавие | Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 12.03.2002 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 20.02.2012 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Черноголовка, 2001 |
Физическое описание | 111 с. : ил |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 02-1/536 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |