Старостина, Елена Алексеевна. - Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Старостина, Елена Алексеевна.
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. - Черноголовка, 2001. - 111 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
OD 61 02-1/536
Описание
| Автор | Старостина, Елена Алексеевна |
|---|---|
| Заглавие | Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 12.03.2002 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 20.02.2012 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Черноголовка, 2001 |
| Физическое описание | 111 с. : ил |
| Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 61 02-1/536 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
