Крючков, Юрий Иванович. - Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05. - Новосибирск, 2001. - 151 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Крючков, Юрий Иванович.
Крючков, Юрий Иванович.
Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05. - Новосибирск, 2001. - 151 с.

Оптика
Шифр хранения:
OD 61 02-5/994

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 25.01.2002
Дата поступления в ЭБ РГБ 23.08.2012
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовосибирск, 2001
Физическое описание151 с.
ТемаОптика
Специальность01.04.05: Оптика
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 02-5/994
Электронный адрес Электронный ресурс