Крючков, Юрий Иванович - Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05

Карточка

Крючков, Юрий Иванович.
Крючков, Юрий Иванович.

Разработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05. - Новосибирск, 2001. - 151 с.
Оптика
OD 61 02-5/994-X

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка способов исследования слоистых структур монолитных интегральных приборов СВЧ на основе спектроскопии и эллипсометрии : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.05
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 25.01.2002
Дата поступления в ЭБ 23.08.2012
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовосибирск, 2001
Физическое описание151 с.
ТемаОптика
Специальность01.04.05: Оптика
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 02-5/994-X
Электронный адрес Электронный ресурс