Павлов, Дмитрий Алексеевич - Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07

Карточка

Павлов, Дмитрий Алексеевич.
Павлов, Дмитрий Алексеевич.

Структурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07. - Нижний Новгород, 2001. - 344 с. : ил.
Физика конденсированного состояния
OD 71 02-1/227-X

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеСтруктурная модификация плёнок кремния в процессе роста и легирования : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 26.12.2001
Дата поступления в ЭБ 20.08.2012
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНижний Новгород, 2001
Физическое описание344 с. : ил
ТемаФизика конденсированного состояния
BBK-кодВ379.226,03
В379.251.4-6,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 02-1/227-X
Электронный адрес Электронный ресурс