Абрамов, Геннадий Владимирович - Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.13.18, 05.13.01

Экспресс-заказ фрагмента
Абрамов, Геннадий Владимирович.
Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.13.18, 05.13.01. - Воронеж, 2001. - 327 с. : ил. + Прил. (184 c.: ил. ).

Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)
Шифр хранения:
OD 71 02-0/178-3

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМатематические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.13.18, 05.13.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 20.02.2002
Каталоги Диссертации
Выходные данныеВоронеж, 2001
Физическое описание327 с. : ил. + Прил. (184 c.: ил. )
ТемаМатематическое моделирование, численные методы и комплексы программ
Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)
Специальность05.13.18: Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
05.13.01: Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 02-0/178-3