Павлюченко, Максим Николаевич - Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Павлюченко, Максим Николаевич.

Анализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2002. - 26 с.
Радиотехника -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Материалы -- Неметаллические материалы -- Строение -- Спектральные методы исследования
Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Алмазоподобные полупроводники -- Строение -- Спектральные методы исследования
Физика полупроводников
FB 9 03-1/1611-0
FB 9 03-1/1612-9

Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАнализ самоорганизованных наноразмерных структур в имплантированном кремнии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 24.01.2003
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 2002
Физическое описание26 с.
ТемаРадиотехника -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Материалы -- Неметаллические материалы -- Строение -- Спектральные методы исследования
Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Алмазоподобные полупроводники -- Строение -- Спектральные методы исследования
Физика полупроводников
BBK-кодЗ844.19-035.04-1с344,0
З843.320.4-1с344,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 03-1/1611-0
FB 9 03-1/1612-9