Филипенко, Наталья Андреевна - Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Филипенко, Наталья Андреевна.
Филипенко, Наталья Андреевна.

Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Таганрог, 2002. - 156 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
OD 61 03-5/103-8

Документ охраняется авторским правом. Полный текст доступен в РГБ и виртуальных читальных залах. Читать Электронный заказ

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеГеттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЭК 24.09.2002
Дата поступления в ЭБ 13.02.2009
Каталоги Диссертации
Выходные данныеТаганрог, 2002
Физическое описание156 с. : ил
ТемаТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 03-5/103-8
Электронный адрес Электронный ресурс