Александров, Олег Викторович - Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Александров, Олег Викторович.
Александров, Олег Викторович.
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.

Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
примеси
Шифр хранения:
OD 71 03-1/144-6

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДиффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 21.05.2003
Дата поступления в ЭБ РГБ 14.05.2010
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 2003
Физическое описание322 с. : ил
ТемаФизико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
Термины-указателипримеси
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 03-1/144-6
Электронный адрес Электронный ресурс