Александров, Олег Викторович - Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Александров, Олег Викторович.
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.
Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
примеси
Шифр хранения:
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.
Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
примеси
Шифр хранения:
OD 71 03-1/144-6
Описание
Автор | Александров, Олег Викторович |
---|---|
Заглавие | Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 21.05.2003 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 14.05.2010 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 2003 |
Физическое описание | 322 с. : ил |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты |
Физика полупроводников | |
Термины-указатели | примеси |
BBK-код | В379.222,03 |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 71 03-1/144-6 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |