Александров, Олег Викторович. - Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Александров, Олег Викторович.
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.
Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
примеси
Шифр хранения:
Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10. - Санкт-Петербург, 2003. - 322 с. : ил.
Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты
Физика полупроводников
примеси
Шифр хранения:
OD 71 03-1/144
Описание
| Автор | Александров, Олег Викторович |
|---|---|
| Заглавие | Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 21.05.2003 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 13.05.2010 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Санкт-Петербург, 2003 |
| Физическое описание | 322 с. : ил |
| Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решетка полупроводников -- Дефекты |
| Физика полупроводников | |
| Термины-указатели | примеси |
| BBK-код | В379.222,03 |
| Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 71 03-1/144 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
