Рощин, Владимир Михайлович - Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Рощин, Владимир Михайлович.
Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2003. - 40 с.
Для служ. пользования
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
импульсная конденсация электроэрозионной плазмы - сверхтонкие пленки
Шифр хранения:
Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2003. - 40 с.
Для служ. пользования
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
импульсная конденсация электроэрозионной плазмы - сверхтонкие пленки
Шифр хранения:
DSP Др 05/122
Описание
Автор | Рощин, Владимир Михайлович |
---|---|
Заглавие | Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 29.10.2003 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. гос. ин-т электронной техники |
Выходные данные | Москва, 2003 |
Физическое описание | 40 с. |
Тема | Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования |
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
Термины-указатели | импульсная конденсация электроэрозионной плазмы - сверхтонкие пленки |
Общие примечания | Для служ. пользования |
BBK-код | З844.13-060.7-1,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | DSP Др 05/122 |