Рощин, Владимир Михайлович - Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Рощин, Владимир Михайлович.
Формирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. гос. ин-т электронной техники. - Москва, 2003. - 40 с.

Для служ. пользования
Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
импульсная конденсация электроэрозионной плазмы - сверхтонкие пленки
Шифр хранения:
DSP Др 05/122

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование сверхтонких пленок и наногетерогенных структур на основе метода импульсной конденсации электроэрозионной плазмы : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 29.10.2003
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 2003
Физическое описание40 с.
ТемаМикроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Исследования
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Термины-указателиимпульсная конденсация электроэрозионной плазмы - сверхтонкие пленки
Общие примечанияДля служ. пользования
BBK-кодЗ844.13-060.7-1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияDSP Др 05/122