Спирин, Владимир Георгиевич. - Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография / В. Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-86517-253-0 : 500
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Спирин, Владимир Георгиевич.
Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография / В. Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-86517-253-0 : 500
Микросборки(радиоэл.) - Проектирование
Микросборки(радиоэл.) - Производство
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса
Шифр хранения:
Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография / В. Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-86517-253-0 : 500
Микросборки(радиоэл.) - Проектирование
Микросборки(радиоэл.) - Производство
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса
Шифр хранения:
FB 1 05-29/194
FB 1 05-29/195
Описание
Автор | Спирин, Владимир Георгиевич |
---|---|
Заглавие | Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог документов с 1831 по настоящее время |
Коллекции ЭБ РГБ | |
Дата поступления в ЭК РГБ | 09.09.2005 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 05.09.2017 |
Каталоги | Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время) |
Сведения об ответственности | В. Г. Спирин |
Выходные данные | Арзамас : АГПИ, 2005 |
Физическое описание | 146 с. : ил., табл.; 21 см |
ISBN | ISBN 5-86517-253-0 : 500 |
Тема | Микросборки(радиоэл.) - Проектирование |
Микросборки(радиоэл.) - Производство | |
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса | |
BBK-код | З844.13-060.7-64,0 |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 1 05-29/194 |
FB 1 05-29/195 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |