Спирин, Владимир Георгиевич. - Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография / В. Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-86517-253-0 : 500

Экспресс-заказ фрагмента
Спирин, Владимир Георгиевич.
Спирин, Владимир Георгиевич.
Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография / В. Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил., табл.; 21 см.; ISBN 5-86517-253-0 : 500

Микросборки(радиоэл.) - Проектирование
Микросборки(радиоэл.) - Производство
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса
Шифр хранения:
FB 1 05-29/194
FB 1 05-29/195

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПроектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм : монография
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Коллекции ЭБ РГБ
Дата поступления в ЭК РГБ 09.09.2005
Дата поступления в ЭБ РГБ 05.09.2017
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиВ. Г. Спирин
Выходные данныеАрзамас : АГПИ, 2005
Физическое описание146 с. : ил., табл.; 21 см
ISBNISBN 5-86517-253-0 : 500
ТемаМикросборки(радиоэл.) - Проектирование
Микросборки(радиоэл.) - Производство
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Проектирование технологического процесса
BBK-кодЗ844.13-060.7-64,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 1 05-29/194
FB 1 05-29/195
Электронный адрес Электронный ресурс