Горшков, Виталий Валерьевич. - Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог, 2004. - 19 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Горшков, Виталий Валерьевич.
Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог, 2004. - 19 с.
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Обработка электронная, лазерная, травление
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
рекристаллизация пленок
Шифр хранения:
Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог, 2004. - 19 с.
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Обработка электронная, лазерная, травление
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
рекристаллизация пленок
Шифр хранения:
FB 9 04-7/1483-5
FB 9 04-7/1484-3
Описание
Автор | Горшков, Виталий Валерьевич |
---|---|
Заглавие | Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 03.08.2004 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 12.02.2009 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Таганрог. гос. радиотехн. ун-т |
Выходные данные | Таганрог, 2004 |
Физическое описание | 19 с. |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Обработка электронная, лазерная, травление |
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Термины-указатели | рекристаллизация пленок |
BBK-код | З844.15-060.14,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 04-7/1483-5 |
FB 9 04-7/1484-3 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |