Горшков, Виталий Валерьевич. - Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог, 2004. - 19 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Горшков, Виталий Валерьевич.
Горшков, Виталий Валерьевич.
Рекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог, 2004. - 19 с.

Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Обработка электронная, лазерная, травление
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
рекристаллизация пленок
Шифр хранения:
FB 9 04-7/1483-5
FB 9 04-7/1484-3

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРекристаллизация тонких поликремниевых пленок плоским электронным лучом : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 03.08.2004
Дата поступления в ЭБ РГБ 12.02.2009
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиТаганрог. гос. радиотехн. ун-т
Выходные данныеТаганрог, 2004
Физическое описание19 с.
ТемаРадиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Обработка электронная, лазерная, травление
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Термины-указателирекристаллизация пленок
BBK-кодЗ844.15-060.14,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 04-7/1483-5
FB 9 04-7/1484-3
Электронный адрес Электронный ресурс