Солдатенко, Сергей Анатольевич. - Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2004. - 113 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Солдатенко, Сергей Анатольевич.
Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2004. - 113 с. : ил.
Большие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников
Физика конденсированного состояния
Шифр хранения:
Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2004. - 113 с. : ил.
Большие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников
Физика конденсированного состояния
Шифр хранения:
OD 61 05-1/137
Описание
Автор | Солдатенко, Сергей Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 24.11.2004 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 17.11.2008 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Воронеж, 2004 |
Физическое описание | 113 с. : ил. |
Тема | Большие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование |
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников | |
Физика конденсированного состояния | |
BBK-код | З844.152-060.7-1,0 |
В379.271.5-6,03 | |
Специальность | 01.04.07: Физика конденсированного состояния |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 05-1/137 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |