Солдатенко, Сергей Анатольевич. - Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2004. - 113 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Солдатенко, Сергей Анатольевич.
Солдатенко, Сергей Анатольевич.
Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2004. - 113 с. : ил.

Большие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников
Физика конденсированного состояния
Шифр хранения:
OD 61 05-1/137

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 24.11.2004
Дата поступления в ЭБ РГБ 17.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеВоронеж, 2004
Физическое описание113 с. : ил.
ТемаБольшие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников
Физика конденсированного состояния
BBK-кодЗ844.152-060.7-1,0
В379.271.5-6,03
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 05-1/137
Электронный адрес Электронный ресурс