Фатьянова, Галина Ивановна - Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Фатьянова, Галина Ивановна.
Фатьянова, Галина Ивановна.
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.

Библиогр. в конце глав
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 05-5/2872

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 28.06.2005
Дата поступления в ЭБ РГБ 18.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2005
Физическое описание248 с. : ил.
ТемаРадиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Общие примечанияБиблиогр. в конце глав
BBK-кодЗ844.1-060.14-5,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 05-5/2872
Электронный адрес Электронный ресурс