Фатьянова, Галина Ивановна - Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Фатьянова, Галина Ивановна.
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.
Библиогр. в конце глав
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.
Библиогр. в конце глав
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 05-5/2872
Описание
Автор | Фатьянова, Галина Ивановна |
---|---|
Заглавие | Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 28.06.2005 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 18.11.2008 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 2005 |
Физическое описание | 248 с. : ил. |
Тема | Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование |
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
Общие примечания | Библиогр. в конце глав |
BBK-код | З844.1-060.14-5,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 05-5/2872 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |