Фатьянова, Галина Ивановна. - Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Фатьянова, Галина Ивановна.
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.
Библиогр. в конце глав
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 248 с. : ил.
Библиогр. в конце глав
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 05-5/2872
Описание
| Автор | Фатьянова, Галина Ивановна |
|---|---|
| Заглавие | Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 28.06.2005 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 18.11.2008 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Москва, 2005 |
| Физическое описание | 248 с. : ил. |
| Тема | Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Электрическая, электрохимическая и ультразвуковая обработка -- Электронная обработка -- Оборудование |
| Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
| Общие примечания | Библиогр. в конце глав |
| BBK-код | З844.1-060.14-5,0 |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 61 05-5/2872 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
