Суханов, Яков Николаевич - Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Суханов, Яков Николаевич.
Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04 / Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова. - Москва, 2005. - 19 с.
Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Плазменная обработка -- Оборудование. Плазмохимические реакторы -- Теория, исследования -- Экспериментальные методы
Физика плазмы
Физическая электроника
субмикронные технологические процессы
Шифр хранения:
Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04 / Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова. - Москва, 2005. - 19 с.
Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Плазменная обработка -- Оборудование. Плазмохимические реакторы -- Теория, исследования -- Экспериментальные методы
Физика плазмы
Физическая электроника
субмикронные технологические процессы
Шифр хранения:
FB 9 05-2/1629-3
FB 9 05-2/1630-7
Описание
Автор | Суханов, Яков Николаевич |
---|---|
Заглавие | Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 07.04.2005 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 11.02.2009 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова |
Выходные данные | Москва, 2005 |
Физическое описание | 19 с. |
Тема | Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Плазменная обработка -- Оборудование. Плазмохимические реакторы -- Теория, исследования -- Экспериментальные методы |
Физика плазмы | |
Физическая электроника | |
Термины-указатели | субмикронные технологические процессы |
BBK-код | З844.15-060.14-5-01с101,0 |
Специальность | 01.04.08: Физика плазмы |
01.04.04: Физическая электроника | |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 05-2/1629-3 |
FB 9 05-2/1630-7 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |