Суханов, Яков Николаевич - Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04

Суханов, Яков Николаевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Суханов, Яков Николаевич.
Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04 / Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова. - Москва, 2005. - 19 с.

Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Плазменная обработка -- Оборудование. Плазмохимические реакторы -- Теория, исследования -- Экспериментальные методы
Физика плазмы
Физическая электроника
субмикронные технологические процессы
Шифр хранения:
FB 9 05-2/1629-3
FB 9 05-2/1630-7

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЭкспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08, 01.04.04
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 07.04.2005
Дата поступления в ЭБ 11.02.2009
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова
Выходные данныеМосква, 2005
Физическое описание19 с.
ТемаМикроэлектроника -- Интегральные схемы -- Плазменная обработка -- Оборудование. Плазмохимические реакторы -- Теория, исследования -- Экспериментальные методы
Физика плазмы
Физическая электроника
субмикронные технологические процессы
BBK-кодЗ844.15-060.14-5-01с101,0
Специальность01.04.08: Физика плазмы
01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 05-2/1629-3
FB 9 05-2/1630-7
Электронный адрес Электронный ресурс