Александров, Сергей Евгеньевич - Технология материалов электронной техники : процессы химического осаждения из газовой фазы : учебное пособие

Экспресс-заказ фрагмента
Александров, Сергей Евгеньевич.
Александров, Сергей Евгеньевич.
Технология материалов электронной техники : процессы химического осаждения из газовой фазы : учебное пособие / С. Е. Александров ; Федеральное агентство по образованию, Санкт-Петербургский гос. политехнический ун-т. - Санкт-Петербург : Изд-во Политехнического ун-та, 2005 (СПб. : Тип. изд-ва Политехнического ун-та). - 92 с. : ил.; 21 см.

Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
Шифр хранения:
FB 3 06-36/61

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТехнология материалов электронной техники : процессы химического осаждения из газовой фазы : учебное пособие
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Коллекции ЭБ РГБ
Дата поступления в ЭК РГБ 09.10.2006
Дата поступления в ЭБ РГБ 02.11.2016
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиС. Е. Александров ; Федеральное агентство по образованию, Санкт-Петербургский гос. политехнический ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург : Изд-во Политехнического ун-та, 2005 (СПб. : Тип. изд-ва Политехнического ун-та)
Физическое описание92 с. : ил.; 21 см
ТемаРадиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
BBK-кодЗ843.08я73-1
ЯзыкРусский
Места храненияFB 3 06-36/61
Электронный адрес Электронный ресурс