Любимский, Владимир Михайлович - Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01

Любимский, Владимир Михайлович.
Экспресс-заказ фрагмента
Любимский, Владимир Михайлович.
Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. - Новосибирск, 2005. - 295 с. : ил.

Теплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления -- Манометры -- Электрические манометры. Тензометрические манометры -- Проектирование
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
OD 71 06-5/553

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПроблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 11.11.2005
Дата поступления в ЭБ РГБ 21.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеНовосибирск, 2005
Физическое описание295 с. : ил.
ТемаТеплоэнергетика -- Теплотехнические измерения -- Измерение давления и разрежения -- Приборы для измерения давления -- Манометры -- Электрические манометры. Тензометрические манометры -- Проектирование
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
BBK-кодЗ323-524-02,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 06-5/553
Электронный адрес Электронный ресурс