Чеботарев, Сергей Николаевич. - Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Чеботарев, Сергей Николаевич.
Чеботарев, Сергей Николаевич.
Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 01.11.2007
Дата поступления в ЭБ РГБ 03.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЧеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]
Выходные данныеНовочеркасск, 2007
Физическое описание21 с.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс