Чеботарев, Сергей Николаевич. - Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Чеботарев, Сергей Николаевич.
Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Описание
Автор | Чеботарев, Сергей Николаевич |
---|---|
Заглавие | Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 01.11.2007 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 03.12.2007 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)] |
Выходные данные | Новочеркасск, 2007 |
Физическое описание | 21 с. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Электронный адрес | Электронный ресурс |