Чеботарев, Сергей Николаевич. - Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Чеботарев, Сергей Николаевич.
Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)]. - Новочеркасск, 2007. - 21 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Описание
| Автор | Чеботарев, Сергей Николаевич |
|---|---|
| Заглавие | Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 01.11.2007 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 03.12.2007 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Чеботарев Сергей Николаевич; [Место защиты: Юж.-Рос. гос. техн. ун-т (Новочеркас. политехн. ин-т)] |
| Выходные данные | Новочеркасск, 2007 |
| Физическое описание | 21 с. |
| Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
