Куликов, Дмитрий Юрьевич. - Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]. - Воронеж, 2007. - 16 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Куликов, Дмитрий Юрьевич.
Куликов, Дмитрий Юрьевич.
Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]. - Воронеж, 2007. - 16 с.

Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей
газовые сенсоры
микроэлектронные датчики газа
Шифр хранения:
FB 9 07-7/931

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеТонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 07.11.2007
Дата поступления в ЭБ РГБ 18.12.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиКуликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]
Выходные данныеВоронеж, 2007
Физическое описание16 с.
ТемаТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей
Термины-указателигазовые сенсоры
микроэлектронные датчики газа
BBK-кодК964.5,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 07-7/931
Электронный адрес Электронный ресурс