Куликов, Дмитрий Юрьевич. - Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]. - Воронеж, 2007. - 16 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Куликов, Дмитрий Юрьевич.
Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]. - Воронеж, 2007. - 16 с.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей
газовые сенсоры
микроэлектронные датчики газа
Шифр хранения:
Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т]. - Воронеж, 2007. - 16 с.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей
газовые сенсоры
микроэлектронные датчики газа
Шифр хранения:
FB 9 07-7/931
Описание
Автор | Куликов, Дмитрий Юрьевич |
---|---|
Заглавие | Тонкопленочная технология изготовления функциональных элементов газовых сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 07.11.2007 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 18.12.2007 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Куликов Дмитрий Юрьевич; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т] |
Выходные данные | Воронеж, 2007 |
Физическое описание | 16 с. |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства приборов для определения компонентов газовых смесей | |
Термины-указатели | газовые сенсоры |
микроэлектронные датчики газа | |
BBK-код | К964.5,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 07-7/931 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |