Золотов, Андрей Викторович. - Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]. - Ульяновск, 2007. - 25 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Золотов, Андрей Викторович.
Золотов, Андрей Викторович.
Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]. - Ульяновск, 2007. - 25 с.

Физика полупроводников
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства -- Моделирование на вычислительных машинах
отжиг пористого кремния
карбонизация пористого кремния
Шифр хранения:
FB 9 07-5/2662

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМоделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 23.11.2007
Дата поступления в ЭБ РГБ 19.02.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЗолотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]
Выходные данныеУльяновск, 2007
Физическое описание25 с.
ТемаФизика полупроводников
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства -- Моделирование на вычислительных машинах
Термины-указателиотжиг пористого кремния
карбонизация пористого кремния
BBK-кодЗ843.322.408-1с116,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 07-5/2662
Электронный адрес Электронный ресурс