Золотов, Андрей Викторович. - Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]. - Ульяновск, 2007. - 25 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Золотов, Андрей Викторович.
Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]. - Ульяновск, 2007. - 25 с.
Физика полупроводников
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства -- Моделирование на вычислительных машинах
отжиг пористого кремния
карбонизация пористого кремния
Шифр хранения:
Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т]. - Ульяновск, 2007. - 25 с.
Физика полупроводников
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства -- Моделирование на вычислительных машинах
отжиг пористого кремния
карбонизация пористого кремния
Шифр хранения:
FB 9 07-5/2662
Описание
Автор | Золотов, Андрей Викторович |
---|---|
Заглавие | Моделирование процессов термического отжига и высокотемпературной карбонизации пористого кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 23.11.2007 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 19.02.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Золотов Андрей Викторович; [Место защиты: Ульян. гос. ун-т] |
Выходные данные | Ульяновск, 2007 |
Физическое описание | 25 с. |
Тема | Физика полупроводников |
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Алмазоподобные полупроводники -- Кремний -- Технология производства -- Моделирование на вычислительных машинах | |
Термины-указатели | отжиг пористого кремния |
карбонизация пористого кремния | |
BBK-код | З843.322.408-1с116,0 |
Специальность | 01.04.10: Физика полупроводников |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 07-5/2662 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |