Леонов, Леонид Борисович - Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Леонов, Леонид Борисович.
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 172 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 172 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 06-5/1774
Описание
Автор | Леонов, Леонид Борисович |
---|---|
Заглавие | Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 14.04.2006 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 21.11.2008 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 2005 |
Физическое описание | 172 с. : ил. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 06-5/1774 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |