Леонов, Леонид Борисович - Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Леонов, Леонид Борисович.
Экспресс-заказ фрагмента
Леонов, Леонид Борисович.
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2005. - 172 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 06-5/1774

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 14.04.2006
Дата поступления в ЭБ РГБ 21.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2005
Физическое описание172 с. : ил.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 06-5/1774
Электронный адрес Электронный ресурс