Редичев, Евгений Николаевич - Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Редичев, Евгений Николаевич.
Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 121 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 121 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 07-5/1208
Описание
Автор | Редичев, Евгений Николаевич |
---|---|
Заглавие | Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 18.12.2006 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 22.11.2008 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 2006 |
Физическое описание | 121 с. : ил. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 07-5/1208 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |