Редичев, Евгений Николаевич - Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Редичев, Евгений Николаевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Редичев, Евгений Николаевич.
Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 121 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 07-5/1208

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазмерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 18.12.2006
Дата поступления в ЭБ РГБ 22.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2006
Физическое описание121 с. : ил.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 07-5/1208
Электронный адрес Электронный ресурс