Шведов, Евгений Васильевич - Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07

Шведов, Евгений Васильевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Шведов, Евгений Васильевич.
Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2006. - 234 с. : ил.

Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
Физика конденсированного состояния
нанокристаллические пленки - получение
Шифр хранения:
OD 71 07-1/74

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФормирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 21.07.2006
Дата поступления в ЭБ РГБ 22.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеВоронеж, 2006
Физическое описание234 с. : ил.
ТемаМикроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
Физика конденсированного состояния
нанокристаллические пленки - получение
BBK-кодЗ844.19-060.7-1,0
Специальность01.04.07: Физика конденсированного состояния
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 07-1/74
Электронный адрес Электронный ресурс