Шведов, Евгений Васильевич. - Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2006. - 234 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Шведов, Евгений Васильевич.
Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2006. - 234 с. : ил.
Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
Физика конденсированного состояния
нанокристаллические пленки - получение
Шифр хранения:
Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 2006. - 234 с. : ил.
Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
Физика конденсированного состояния
нанокристаллические пленки - получение
Шифр хранения:
OD 71 07-1/74
Описание
| Автор | Шведов, Евгений Васильевич |
|---|---|
| Заглавие | Формирование дискретных и компактных нанокристаллических структур при вакуумной конденсации из одно- и двухкомпонентной паровой фазы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 21.07.2006 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 22.11.2008 |
| Каталоги | Диссертации |
| Выходные данные | Воронеж, 2006 |
| Физическое описание | 234 с. : ил. |
| Тема | Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование |
| Физика конденсированного состояния | |
| Термины-указатели | нанокристаллические пленки - получение |
| BBK-код | З844.19-060.7-1,0 |
| Специальность | 01.04.07: Физика конденсированного состояния |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 71 07-1/74 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
