Ломанов, Алексей Николаевич - Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06

Ломанов, Алексей Николаевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Ломанов, Алексей Николаевич.
Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06. - Рыбинск, 2007. - 129 с. : ил.

Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
Машиностроение -- Технология машиностроения. Обработка металлов -- Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии -- Защита металлов от коррозии покрытиями -- Металлизация в вакууме -- Изготовление тонких плёнок -- Технический контроль -- Спектральные методы -- Автоматизация
планарная магнетронная система
электронно-эмиссионный датчик
Шифр хранения:
OD 61 07-5/1858

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАвтоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 12.03.2007
Дата поступления в ЭБ РГБ 22.11.2008
Каталоги Диссертации
Выходные данныеРыбинск, 2007
Физическое описание129 с. : ил.
ТемаАвтоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
Машиностроение -- Технология машиностроения. Обработка металлов -- Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии -- Защита металлов от коррозии покрытиями -- Металлизация в вакууме -- Изготовление тонких плёнок -- Технический контроль -- Спектральные методы -- Автоматизация
планарная магнетронная система
электронно-эмиссионный датчик
BBK-кодК663.030.022-7с344-5-05,0
Специальность05.13.06: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 07-5/1858
Электронный адрес Электронный ресурс