Ломанов, Алексей Николаевич - Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ломанов, Алексей Николаевич.
Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06. - Рыбинск, 2007. - 129 с. : ил.
Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
Машиностроение -- Технология машиностроения. Обработка металлов -- Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии -- Защита металлов от коррозии покрытиями -- Металлизация в вакууме -- Изготовление тонких плёнок -- Технический контроль -- Спектральные методы -- Автоматизация
планарная магнетронная система
электронно-эмиссионный датчик
Шифр хранения:
Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06. - Рыбинск, 2007. - 129 с. : ил.
Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
Машиностроение -- Технология машиностроения. Обработка металлов -- Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии -- Защита металлов от коррозии покрытиями -- Металлизация в вакууме -- Изготовление тонких плёнок -- Технический контроль -- Спектральные методы -- Автоматизация
планарная магнетронная система
электронно-эмиссионный датчик
Шифр хранения:
OD 61 07-5/1858
Описание
Автор | Ломанов, Алексей Николаевич |
---|---|
Заглавие | Автоматизация контроля скоростей распыления и осаждения тонких пленок методом электронно-эмиссионной спектроскопии при магнетронном нанесении : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 12.03.2007 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 22.11.2008 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Рыбинск, 2007 |
Физическое описание | 129 с. : ил. |
Тема | Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям) |
Машиностроение -- Технология машиностроения. Обработка металлов -- Коррозия металлов. Защита металлов от коррозии -- Защита металлов от коррозии покрытиями -- Металлизация в вакууме -- Изготовление тонких плёнок -- Технический контроль -- Спектральные методы -- Автоматизация | |
Термины-указатели | планарная магнетронная система |
электронно-эмиссионный датчик | |
BBK-код | К663.030.022-7с344-5-05,0 |
Специальность | 05.13.06: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям) |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 07-5/1858 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |