Ильков, Андрей Владимирович - Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Ильков, Андрей Владимирович.
Экспресс-заказ фрагмента
Ильков, Андрей Владимирович.
Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 2007. - 128 с. : ил.

Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
OD 61 07-5/2385

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКонструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 30.05.2007
Дата поступления в ЭБ РГБ 22.02.2009
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2007
Физическое описание128 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 07-5/2385
Электронный адрес Электронный ресурс