Ильков, Андрей Владимирович - Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Ильков, Андрей Владимирович.
Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 2007. - 128 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 2007. - 128 с. : ил.
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Шифр хранения:
OD 61 07-5/2385
Описание
Автор | Ильков, Андрей Владимирович |
---|---|
Заглавие | Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 30.05.2007 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 22.02.2009 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 2007 |
Физическое описание | 128 с. : ил. |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 07-5/2385 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |