Мармалюк, Александр Анатольевич - Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мармалюк, Александр Анатольевич.
Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 431 с. : ил.
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 431 с. : ил.
Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 07-5/353
Описание
Автор | Мармалюк, Александр Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 12.12.2006 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 22.02.2009 |
Каталоги | Диссертации |
Выходные данные | Москва, 2006 |
Физическое описание | 431 с. : ил. |
Тема | Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий |
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
BBK-код | З844.13-060.7,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 71 07-5/353 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |