Мармалюк, Александр Анатольевич - Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Мармалюк, Александр Анатольевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Мармалюк, Александр Анатольевич.
Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Москва, 2006. - 431 с. : ил.

Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 07-5/353

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 12.12.2006
Дата поступления в ЭБ РГБ 22.02.2009
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 2006
Физическое описание431 с. : ил.
ТемаРадиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение покрытий
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
BBK-кодЗ844.13-060.7,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 07-5/353
Электронный адрес Электронный ресурс