Новиков, Александр Александрович. - Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. - Санкт-Петербург, 2008. - 27 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Новиков, Александр Александрович.
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. - Санкт-Петербург, 2008. - 27 с.
Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
эллипсометрия поверхностных слоев
Шифр хранения:
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. - Санкт-Петербург, 2008. - 27 с.
Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
эллипсометрия поверхностных слоев
Шифр хранения:
FB 9 08-4/454
FBKHM 9 08-4/1934
Описание
| Автор | Новиков, Александр Александрович |
|---|---|
| Заглавие | Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 27.11.2008 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 24.06.2009 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики] |
| Выходные данные | Санкт-Петербург, 2008 |
| Физическое описание | 27 с. |
| Тема | Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы |
| Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля | |
| Термины-указатели | эллипсометрия поверхностных слоев |
| BBK-код | З86-5-060.7-7с344,0 |
| Специальность | 05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 08-4/454 |
| FBKHM 9 08-4/1934 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
