Новиков, Александр Александрович. - Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. - Санкт-Петербург, 2008. - 27 с.

Экспресс-заказ фрагмента
Новиков, Александр Александрович.
Новиков, Александр Александрович.
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. - Санкт-Петербург, 2008. - 27 с.

Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
эллипсометрия поверхностных слоев
Шифр хранения:
FB 9 08-4/454
FBKHM 9 08-4/1934

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеЭллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 27.11.2008
Дата поступления в ЭБ РГБ 24.06.2009
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНовиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
Выходные данныеСанкт-Петербург, 2008
Физическое описание27 с.
ТемаОптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
Радиоэлектроника -- Квантовая электроника -- Квантовые приборы -- Технология изготовления -- Нанесение покрытий -- Технический контроль -- Спектральные методы контроля
Термины-указателиэллипсометрия поверхностных слоев
BBK-кодЗ86-5-060.7-7с344,0
Специальность05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 08-4/454
FBKHM 9 08-4/1934
Электронный адрес Электронный ресурс