Митченко, Иван Сергеевич. - Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. - Ставрополь, 2008. - 162 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Митченко, Иван Сергеевич.
Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. - Ставрополь, 2008. - 162 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. - Ставрополь, 2008. - 162 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 09-5/353
Описание
| Автор | Митченко, Иван Сергеевич |
|---|---|
| Заглавие | Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 10.02.2009 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 01.05.2009 |
| Каталоги | Диссертации |
| Сведения об ответственности | Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т] |
| Выходные данные | Ставрополь, 2008 |
| Физическое описание | 162 с. : ил. |
| Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 61 09-5/353 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
