Митченко, Иван Сергеевич. - Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. - Ставрополь, 2008. - 162 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Митченко, Иван Сергеевич.
Митченко, Иван Сергеевич.
Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]. - Ставрополь, 2008. - 162 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 09-5/353

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 10.02.2009
Дата поступления в ЭБ РГБ 01.05.2009
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиМитченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т]
Выходные данныеСтаврополь, 2008
Физическое описание162 с. : ил.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 09-5/353
Электронный адрес Электронный ресурс