Овчинников, Вячеслав Алексеевич. - Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2009. - 242 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Овчинников, Вячеслав Алексеевич.
Овчинников, Вячеслав Алексеевич.
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2009. - 242 с. : ил.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 10-5/13

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 22.12.2009
Дата поступления в ЭБ РГБ 28.08.2010
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиОвчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
Выходные данныеМосква, 2009
Физическое описание242 с. : ил.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 10-5/13
Электронный адрес Электронный ресурс