Овчинников, Вячеслав Алексеевич. - Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2009. - 242 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Овчинников, Вячеслав Алексеевич.
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2009. - 242 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. - Москва, 2009. - 242 с. : ил.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 10-5/13
Описание
Автор | Овчинников, Вячеслав Алексеевич |
---|---|
Заглавие | Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Диссертации |
Дата поступления в ЭК РГБ | 22.12.2009 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 28.08.2010 |
Каталоги | Диссертации |
Сведения об ответственности | Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники] |
Выходные данные | Москва, 2009 |
Физическое описание | 242 с. : ил. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 61 10-5/13 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |