Кузнецова, Мария Александровна - Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Кузнецова, Мария Александровна.
Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Кузнецова Мария Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)]. - Санкт-Петербург, 2011. - 17 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Электровакуумные приборы -- Электроды -- Катоды -- Карбидированные катоды -- Технология изготовления -- Ионная обработка. Ионно-плазменное травление -- Проектирование технологического процесса -- Выбор и расчет технологического варианта
Шифр хранения:
Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Кузнецова Мария Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)]. - Санкт-Петербург, 2011. - 17 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Электровакуумные приборы -- Электроды -- Катоды -- Карбидированные катоды -- Технология изготовления -- Ионная обработка. Ионно-плазменное травление -- Проектирование технологического процесса -- Выбор и расчет технологического варианта
Шифр хранения:
DSP Др 12/39
Описание
Автор | Кузнецова, Мария Александровна |
---|---|
Заглавие | Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 23.01.2012 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Кузнецова Мария Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)] |
Выходные данные | Санкт-Петербург, 2011 |
Физическое описание | 17 с. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Электровакуумные приборы -- Электроды -- Катоды -- Карбидированные катоды -- Технология изготовления -- Ионная обработка. Ионно-плазменное травление -- Проектирование технологического процесса -- Выбор и расчет технологического варианта | |
BBK-код | З851-061.120.14-642,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | DSP Др 12/39 |