Кузнецова, Мария Александровна - Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Кузнецова, Мария Александровна.
Физико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Кузнецова Мария Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)]. - Санкт-Петербург, 2011. - 17 с.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Электровакуумные приборы -- Электроды -- Катоды -- Карбидированные катоды -- Технология изготовления -- Ионная обработка. Ионно-плазменное травление -- Проектирование технологического процесса -- Выбор и расчет технологического варианта
Шифр хранения:
DSP Др 12/39

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизико-технологические основы формирования карбидокремниевых наноразмерных острий для автоэмиссионной электроники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 23.01.2012
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиКузнецова Мария Александровна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)]
Выходные данныеСанкт-Петербург, 2011
Физическое описание17 с.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Электровакуумные приборы -- Электроды -- Катоды -- Карбидированные катоды -- Технология изготовления -- Ионная обработка. Ионно-плазменное травление -- Проектирование технологического процесса -- Выбор и расчет технологического варианта
BBK-кодЗ851-061.120.14-642,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияDSP Др 12/39