Тысченко, Ида Евгеньевна. - Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Тысченко Ида Евгеньевна; [Место защиты: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук]. - Новосибирск, 2015. - 349 с. : 81 ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Тысченко, Ида Евгеньевна.
Тысченко, Ида Евгеньевна.
Физические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Тысченко Ида Евгеньевна; [Место защиты: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук]. - Новосибирск, 2015. - 349 с. : 81 ил.

Физика полупроводников

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеФизические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Диссертации
Дата поступления в ЭК РГБ 28.10.2015
Дата поступления в ЭБ РГБ 23.12.2015
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиТысченко Ида Евгеньевна; [Место защиты: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук]
Выходные данныеНовосибирск, 2015
Физическое описание349 с. : 81 ил.
ТемаФизика полупроводников
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Электронный адрес Электронный ресурс