Базиненков, Алексей Михайлович - Повышение качества переходных процессов в магнитореологических модулях линейных перемещений для сверхточного оборудования : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06

Экспресс-заказ фрагмента
Базиненков, Алексей Михайлович.
Повышение качества переходных процессов в магнитореологических модулях линейных перемещений для сверхточного оборудования : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06 / Базиненков Алексей Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2013. - 224 с. : ил.

Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология печатных схем -- Теория. Исследование
литография в наноэлектронике
Шифр хранения:
OD 61 13-5/2674

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеПовышение качества переходных процессов в магнитореологических модулях линейных перемещений для сверхточного оборудования : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 08.10.2013
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиБазиненков Алексей Михайлович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
Выходные данныеМосква, 2013
Физическое описание224 с. : ил.
ТемаАвтоматизация и управление технологическими процессами и производствами
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология печатных схем -- Теория. Исследование
Термины-указателилитография в наноэлектронике
BBK-кодЗ844.19-060.6-1,0
Специальность05.13.06: Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 13-5/2674