Белецкий, Петр Николаевич - Разработка и исследование физико-химических процессов подготовки поверхности пластин в планарной технологии производства полупроводниковых приборов [Текст] : Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук : (05.12.11)

Экспресс-заказ фрагмента
Белецкий, Петр Николаевич.
Разработка и исследование физико-химических процессов подготовки поверхности пластин в планарной технологии производства полупроводниковых приборов [Текст] : Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук : (05.12.11) / Одес. политехн. ин-т. - Одесса : [б. и.], 1975. - 18 с.

Для служебного пользования
RuMoRGB
Шифр хранения:
DSP ДСП/Др 10581

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование физико-химических процессов подготовки поверхности пластин в планарной технологии производства полупроводниковых приборов [Текст] : Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук : (05.12.11)
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 09.11.2011
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиОдес. политехн. ин-т
Выходные данныеОдесса : [б. и.], 1975
Физическое описание18 с.
Общие примечанияДля служебного пользования
RuMoRGB
ЯзыкРусский
Места храненияDSP ДСП/Др 10581