Черных, Александр Владимирович. - Исследование и разработка систем комплексной статистической обработки технологической информации [Текст] : (Для процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем) : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.13.12 / Моск. ин-т электронного машиностроения. - Москва : [б. и.], 1975. - 26 с. : ил.

Черных, Александр Владимирович.
Исследование и разработка систем комплексной статистической обработки технологической информации [Текст] : (Для процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем) : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.13.12 / Моск. ин-т электронного машиностроения. - Москва : [б. и.], 1975. - 26 с. : ил.

Для служебного пользования
RuMoRGB
Шифр хранения:
DSP СХ

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка систем комплексной статистической обработки технологической информации [Текст] : (Для процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем) : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.13.12
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 29.10.2012
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электронного машиностроения
Выходные данныеМосква : [б. и.], 1975
Физическое описание26 с. : ил.
Общие примечанияДля служебного пользования
RuMoRGB
ЯзыкРусский
Места храненияDSP СХ