Мелехин, Ю. Я. - Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники. - Москва : [б. и.], 1974. - 31 с. : ил.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Мелехин, Ю. Я.
Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники. - Москва : [б. и.], 1974. - 31 с. : ил.
Для служебного пользования
RuMoRGB
Шифр хранения:
Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники. - Москва : [б. и.], 1974. - 31 с. : ил.
Для служебного пользования
RuMoRGB
Шифр хранения:
DSP СХ
Описание
Автор | Мелехин, Ю. Я. |
---|---|
Заглавие | Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 19.03.2013 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Моск. ин-т электронной техники |
Выходные данные | Москва : [б. и.], 1974 |
Физическое описание | 31 с. : ил. |
Общие примечания | Для служебного пользования |
RuMoRGB | |
Язык | Русский |
Места хранения | DSP СХ |