Мелехин, Ю. Я. - Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники. - Москва : [б. и.], 1974. - 31 с. : ил.

Экспресс-заказ фрагмента
Мелехин, Ю. Я.
Разработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники. - Москва : [б. и.], 1974. - 31 с. : ил.

Для служебного пользования
RuMoRGB
Шифр хранения:
DSP СХ

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеРазработка и исследование высокопроизводительного периодического действия вакуумного оборудования для осаждения пленочных элементов микросхем [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук. (05.02.12)
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЭК РГБ 19.03.2013
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква : [б. и.], 1974
Физическое описание31 с. : ил.
Общие примечанияДля служебного пользования
RuMoRGB
ЯзыкРусский
Места храненияDSP СХ