Цепулин, Владимир Германович. - Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Цепулин, Владимир Германович.
Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.
Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
Шифр хранения:
Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.
Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
Шифр хранения:
OD 9 19-5/706
Описание
| Автор | Цепулин, Владимир Германович |
|---|---|
| Заглавие | Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 16.05.2019 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 19.06.2019 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана] |
| Выходные данные | Москва, 2019 |
| Физическое описание | 16 с. |
| Тема | Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
| Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений | |
| Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования | |
| BBK-код | Ж107.120.233,0 |
| З844.13-01с,0 | |
| Специальность | 05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
| Язык | Русский |
| Места хранения | OD 9 19-5/706 |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
