Цепулин, Владимир Германович - Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07

Цепулин, Владимир Германович.
Цепулин, Владимир Германович.
Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.

Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
Шифр хранения:
OD 9 19-5/706

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 16.05.2019
Дата поступления в ЭБ 19.06.2019
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЦепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
Выходные данныеМосква, 2019
Физическое описание16 с.
ТемаОптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
BBK-кодЖ107.120.233,0
З844.13-01с,0
Специальность05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
ЯзыкРусский
Места храненияOD 9 19-5/706
Электронный адрес Электронный ресурс