Цепулин, Владимир Германович - Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Цепулин, Владимир Германович.
Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.
Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
Шифр хранения:
Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2019. - 16 с.
Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования
Шифр хранения:
OD 9 19-5/706
Описание
Автор | Цепулин, Владимир Германович |
---|---|
Заглавие | Высокоскоростной спектрофотометрический метод измерения толщин многослойных пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 16.05.2019 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 19.06.2019 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Цепулин Владимир Германович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана] |
Выходные данные | Москва, 2019 |
Физическое описание | 16 с. |
Тема | Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
Техника и технические науки в целом -- Метрология. Техника измерений -- Измерение линейных размеров -- Измерение толщин -- - Электрические и магнитные методы измерений | |
Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Методы исследования | |
BBK-код | Ж107.120.233,0 |
З844.13-01с,0 | |
Специальность | 05.11.07: Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 9 19-5/706 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |