Сильницкая, Ольга Андреевна - Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Сильницкая, Ольга Андреевна.
Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Сильницкая Ольга Андреевна; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2018. - 17 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Пленки
Шифр хранения:
Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Сильницкая Ольга Андреевна; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2018. - 17 с.
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Пленки
Шифр хранения:
OD 9 18-5/419
Описание
Автор | Сильницкая, Ольга Андреевна |
---|---|
Заглавие | Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 28.03.2018 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 16.05.2018 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Сильницкая Ольга Андреевна; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана] |
Выходные данные | Москва, 2018 |
Физическое описание | 17 с. |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения | |
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Пленки | |
BBK-код | Л719.9,0 |
Л719.4,0 | |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | OD 9 18-5/419 |
Электронный адрес | Электронный ресурс |