Сильницкая, Ольга Андреевна - Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Сильницкая, Ольга Андреевна.
Сильницкая, Ольга Андреевна.
Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Сильницкая Ольга Андреевна; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]. - Москва, 2018. - 17 с.

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Пленки
Шифр хранения:
OD 9 18-5/419

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка процессов формирования наноструктурированных барьерных слоёв на основе фторуглеродных пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ РГБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК РГБ 28.03.2018
Дата поступления в ЭБ РГБ 16.05.2018
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиСильницкая Ольга Андреевна; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
Выходные данныеМосква, 2018
Физическое описание17 с.
ТемаТехнология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения
Химическая технология. Химические производства -- Технология органических веществ -- Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы -- Полимеры и пластмассы с особой структурой, особыми свойствами и специального назначения -- Пленки
BBK-кодЛ719.9,0
Л719.4,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 9 18-5/419
Электронный адрес Электронный ресурс