Свиташёва, Светлана Николаевна - Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов

Экспресс-заказ фрагмента
Свиташёва, Светлана Николаевна.
Свиташёва, Светлана Николаевна.
Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов / С. Н. Свиташёва ; ответственный редактор доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад наук, 2019. - 261, [6] с. : ил., табл., цв. ил.; 26 см.; ISBN 978-5-6042856-8-8 (СО РАН)

Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
эллипсометрия
наноразмерные пленки
Шифр хранения:
FB 1 20-9/35
CPF В379/С24

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеМетод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов
Коллекции ЭК РГБ Каталог документов с 1831 по настоящее время
Коллекции ЭБ РГБ Коллекция не определена
Дата поступления в ЭК РГБ 12.03.2020
Дата поступления в ЭБ РГБ 11.03.2023
Каталоги Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время)
Сведения об ответственностиС. Н. Свиташёва ; ответственный редактор доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
Выходные данныеНовосибирск : Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад наук, 2019
Физическое описание261, [6] с. : ил., табл., цв. ил.; 26 см
ISBNISBN 978-5-6042856-8-8 (СО РАН)
ТемаФизико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
Термины-указателиэллипсометрия
наноразмерные пленки
BBK-кодВ343.5,0
В372.6с1,0
З844.19-01с34,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 1 20-9/35
CPF В379/С24
Электронный адрес Электронный ресурс