Свиташёва, Светлана Николаевна - Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Свиташёва, Светлана Николаевна.
Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов / С. Н. Свиташёва ; ответственный редактор доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад наук, 2019. - 261, [6] с. : ил., табл., цв. ил.; 26 см.; ISBN 978-5-6042856-8-8 (СО РАН)
Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
эллипсометрия
наноразмерные пленки
Шифр хранения:
Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов / С. Н. Свиташёва ; ответственный редактор доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова. - Новосибирск : Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад наук, 2019. - 261, [6] с. : ил., табл., цв. ил.; 26 см.; ISBN 978-5-6042856-8-8 (СО РАН)
Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы
эллипсометрия
наноразмерные пленки
Шифр хранения:
FB 1 20-9/35
CPF В379/С24
Описание
Автор | Свиташёва, Светлана Николаевна |
---|---|
Заглавие | Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог документов с 1831 по настоящее время |
Коллекции ЭБ РГБ | Коллекция не определена |
Дата поступления в ЭК РГБ | 12.03.2020 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 11.03.2023 |
Каталоги | Книги (изданные с 1831 г. по настоящее время) |
Сведения об ответственности | С. Н. Свиташёва ; ответственный редактор доктор физико-математических наук О. П. Пчеляков ; Российская академия наук Сибирское отделение Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова |
Выходные данные | Новосибирск : Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад наук, 2019 |
Физическое описание | 261, [6] с. : ил., табл., цв. ил.; 26 см |
ISBN | ISBN 978-5-6042856-8-8 (СО РАН) |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Оптика -- Физическая оптика -- Поляризация света. Двойное лучепреломление |
Физико-математические науки -- Физика -- Физика твёрдого тела. Кристаллография -- Структура твёрдых тел -- Тонкие слои твёрдых тел. Наноструктуры -- Методы исследования | |
Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Исследование -- Методы -- Физические методы -- Оптические методы | |
Термины-указатели | эллипсометрия |
наноразмерные пленки | |
BBK-код | В343.5,0 |
В372.6с1,0 | |
З844.19-01с34,0 | |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 1 20-9/35 |
CPF В379/С24 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |